電子特氣的凈化更加至關(guān)重要

    現(xiàn)在推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)有很多，電子工業(yè)也是當(dāng)之無(wú)愧的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，電子特種氣體的發(fā)展更是直接帶動(dòng)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要關(guān)鍵，今天就為大家介紹一下這個(gè)當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
    電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體,與傳統(tǒng)的工業(yè)氣體相比,電子氣體特殊在氣體的純凈度要求極高,所以也稱(chēng)為電子特種氣體。   
    電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、維護(hù)氣氛等等。因?yàn)榘雽?dǎo)體和微電子技能向更高功能、更高集成度開(kāi)展，對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的需求，電子特氣的凈化更加關(guān)鍵和重要。
    目前國(guó)內(nèi)的超高純度凈化技能首要依靠進(jìn)口，本身的技能水準(zhǔn)（6N）與國(guó)際先進(jìn)水平(8-9N)有較大距離。本項(xiàng)目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑，對(duì)MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列，50多種電子特氣進(jìn)行結(jié)尾凈化，使電子特氣純度由ppm級(jí)進(jìn)步到ppb、ppt級(jí)，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對(duì)氣體純度的影響降至最小，然后極大地改進(jìn)工藝才能，下降產(chǎn)物缺點(diǎn)， 進(jìn)步制程的產(chǎn)值，滿意下一代半導(dǎo)體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開(kāi)展的需求。本項(xiàng)目將構(gòu)成有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技能，處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國(guó)產(chǎn)化問(wèn)題。
    以上內(nèi)容就是言赫今天為大家介紹關(guān)于電子特氣的有關(guān)知識(shí)，相信您已經(jīng)對(duì)這個(gè)新型產(chǎn)業(yè)有了一定的了解，如果您還有什么想要咨詢的，歡迎來(lái)電咨詢。
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