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氯化氫 改良西門(mén)子法—閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法

返回  打印  發(fā)布時(shí)間：2013-2-2 點(diǎn)擊：9222
 改良西門(mén)子法是用氯和氫合成氯化氫（或外購(gòu)氯化氫），氯化氫和產(chǎn)業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對(duì)三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。

    國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產(chǎn)電子級(jí)與太陽(yáng)能級(jí)多晶硅。

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