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現(xiàn)在電子工業(yè)用氣(氨氣、氯化氫、四氟化碳)已經(jīng)告別進(jìn)口
高純氨氣(NH3)是電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體。高純氨氣跟硅烷、高純氬氣(Ar)用于薄膜太陽能電池的制造,也用于LED電子行業(yè)。氨氣具有強(qiáng)腐蝕性和毒性,而且具有刺激性臭味,易溶于水。
在目前,國產(chǎn)高純氨氣已經(jīng)占到國內(nèi)市場需求的一大半,相信以后會(huì)完全取代國外氣體公司滿足中國在IC、LED、太陽能電池等領(lǐng)域的需求。
高純四氟化碳(CF4) ,目前四氟化碳主要應(yīng)用于微電子工業(yè)中的等離子蝕刻,廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢膜材料的銹蝕。同時(shí)也應(yīng)用于電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷,是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃,揮發(fā)性較高。是最穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一。
目前可以生產(chǎn)純度達(dá)99.999%的高純四氟化碳,產(chǎn)量基本可以滿足珠江三角洲地區(qū)電子工業(yè)的需求。
高純氯化氫(HCL),主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路單晶硅片氣相拋光,外延機(jī)座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶于水(遇水是有強(qiáng)腐蝕性)。遇氰化物產(chǎn)生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經(jīng)可以滿足國內(nèi)市場的需求。
隨著國內(nèi)氣體企業(yè)對電子氣體的重視,國內(nèi)氣體公司在技術(shù)方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現(xiàn)出了一批具有創(chuàng)新性和活力的氣體公司。我們淄博言赫特氣經(jīng)營氯化氫氣體已經(jīng)多年,獲得了很多客戶的好評,也希望我們可以成為很好的合作伙伴!