中國氯化氫技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者

      北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司是1999年注冊于北京中關(guān)村高科技園區(qū)的高新科技企業(yè)，其目的是推廣應(yīng)用本公司發(fā)明的十余項國內(nèi)外授權(quán)專利。目前推廣的主要新產(chǎn)品有，高

純氯化氫和沸石催化劑；主要新技術(shù)有催化精餾技術(shù)和芳烴烷基化工藝。本公司生產(chǎn)的沸石催化劑是種錄色環(huán)保產(chǎn)品，達到國際先進水平，已成功的應(yīng)用于國內(nèi)大型石化企業(yè)，具有顯著的

經(jīng)濟效益和社會效益。本公司生產(chǎn)的高純氯化氫的性能指標與國外同類產(chǎn)品相當，填補了我國電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白，目前已廣泛應(yīng)用于集成電路芯片制造業(yè)、硬質(zhì)合金制造業(yè)、醫(yī)

藥化工制造業(yè)，并批量遠銷于韓國及東南亞一帶。本公司的特點是產(chǎn)品質(zhì)量高，價格低，售后服務(wù)好。

      本公司具有較強的技術(shù)開發(fā)力量，現(xiàn)有教授4人，高級工程師5人，其他工程技術(shù)人員10人。建有設(shè)備完善的中心實驗室，高純氯化氫生產(chǎn)基地，沸石催化劑生產(chǎn)基地。分別負責技術(shù)

開發(fā)、氯化氫和催化劑的生產(chǎn)。根據(jù)市場需求，氯化氫設(shè)備的現(xiàn)有生產(chǎn)能力為100噸/年。

      5N電子級氯化氫產(chǎn)品的純度高達99.999%，總雜質(zhì)含量小于5ppm,符合企業(yè)標準Q/HDHYF001-2003。它是單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝的重要輔助材料。尤其其中水

及有機物的含量對單晶硅片的精密加工和芯片的壽命具有極大影響。本公司生產(chǎn)的5N電子級氯化氫產(chǎn)品的露點小于-80℃，水含量小于0.5ppm。有機物為輕烴類，THC＜0.5ppm，且不含一氧

化碳、二氧化碳等有害雜質(zhì)。就此而言，本公司的產(chǎn)品遠優(yōu)于國外同類產(chǎn)品的性能，尤其優(yōu)于國內(nèi)分裝產(chǎn)品。

      本公司生產(chǎn)電子級氯化氫所采用的原料為石化產(chǎn)品的副產(chǎn)品，其特點是水含量很低，便于提純加工，對所需設(shè)備的材質(zhì)要求不高。但其中含有難以脫除的乙炔氣，這就需要特種性能

的催化劑。本公司在催化劑及催化技術(shù)開發(fā)方面具有獨特的技術(shù)。經(jīng)5年的努力，開發(fā)出適用的催化劑，它可使氯化氫中1000ppm的乙炔經(jīng)反應(yīng)下降至0.1ppm以下。從而保證了氯化氫中的THC

＜0.4ppm。另外，本公司氯化氫的生產(chǎn)工藝采用了高效填料及特殊結(jié)構(gòu)的精餾塔，并采用了具有特色的鋼瓶處理方法，保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。使得本公司產(chǎn)品的質(zhì)量大大優(yōu)

于國外同類產(chǎn)品的質(zhì)量。同時，本公司獲得了"一種制備電子級氯化氫的方法"的授權(quán)專利，具有自主知識產(chǎn)權(quán)。瓶裝產(chǎn)品經(jīng)國家標準物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢測中心

抽樣檢驗，純度大于99.999%，雜質(zhì)總含量小于5ppm。2003年10月通過北京市科委科技成果技術(shù)鑒定。會議認為，本工藝采用特效催化反應(yīng)、高效精餾和特種裝置設(shè)備等技術(shù)研制出電子級氯

化氫產(chǎn)品。技術(shù)路線科學(xué)、合理、先進，工藝參數(shù)穩(wěn)定；原料來源充足，供應(yīng)可靠，生產(chǎn)線裝置運行連續(xù)穩(wěn)定，符合環(huán)保要求；產(chǎn)品主要技術(shù)指標具有可靠的檢測手段；產(chǎn)品主要性能指標

與國外同類產(chǎn)品相當，填補了我國電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白，實現(xiàn)了電子級氯化氫產(chǎn)品的國產(chǎn)化。這對我國新興電子產(chǎn)業(yè)制造業(yè)及其相關(guān)行業(yè)的發(fā)展具有較大的社會意義和經(jīng)濟意義。

兩年多來，經(jīng)國內(nèi)外多家用戶在單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明，本公司產(chǎn)品的技術(shù)性能及其產(chǎn)品的規(guī)格性能均與國外產(chǎn)品相當。

      近幾年，本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。經(jīng)分析發(fā)現(xiàn)，精餾塔采出產(chǎn)品的水含量小于0.3ppm，但罐裝于鋼瓶內(nèi)的產(chǎn)品水含量則可達0.7ppm，甚至更高。究其原因在于產(chǎn)

品罐裝過程中鋼瓶更換以及鋼瓶處理時引入的空氣水。這種水附著在管壁上，難以用抽空的方法徹底排除。為此，首先采用了本公司發(fā)明的專利截止閥，保證更換鋼瓶時匯流排及其連接軟

管不與大氣相通；其次在鋼瓶選用、瓶閥結(jié)構(gòu)及鋼瓶處理上采取了嚴格而特殊的措施，盡可能降低鋼瓶殘留水的影響，保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。

      目前，國內(nèi)應(yīng)用的5N電子級氯化氫產(chǎn)品主要由美國道化學(xué)公司提供，經(jīng)由國內(nèi)外幾家氣體經(jīng)銷商分裝后供應(yīng)市場，主要性能指標如下：

純度：99.999%；

雜質(zhì)含量：N2≤2.0ppm，O2≤1.0ppm，H2O≤1.0ppm，CO≤1.0ppm，

CO2≤2.0ppm，THC≤1.0ppm。

目前，本公司批量供應(yīng)市場的氯化氫產(chǎn)品有如下四種：

（1） 5.0 N，純度>99.999%；  （2） 4.8 N，純度>99.998%；

（3） 3.0 N，純度>99.9%；    （4） 2.8N，純度>99.8%。

      本公司氯化氫產(chǎn)品采用氯化氫專用鋼瓶（符合國標GB5099或DOT 3AA標準）包裝，有25kg、27kg兩種規(guī)格，應(yīng)用316L不銹鋼抗腐蝕隔膜式瓶閥，CGA330標準接口。

      本公司尚可為客戶提供各種型號規(guī)格的氯化氫專用減壓器、調(diào)節(jié)閥、截止閥以及成套氯化氫供氣裝置。

      2001年全公司各產(chǎn)品通過ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認證，保證了產(chǎn)品質(zhì)量的連續(xù)穩(wěn)定和持續(xù)改進。

      本公司秉承"誠信為本、顧客至上"的經(jīng)營理念，堅持"科學(xué)經(jīng)營、安全經(jīng)營、合法經(jīng)營"的經(jīng)營方針，以科技領(lǐng)先和強化管理為手段，鍛造技術(shù)一流、人才一流、質(zhì)量一流、服務(wù)一流

的科技開發(fā)公司。